Володарський, Є. (доктор технічних наук; професор; Національний технічний університет України "КПІ"). Калібрування растрових електронних мікроскопів під час лінійних вимірювань у нанометровому діапазоні / Є. Володарський, Л. Кошева, А. Шантир // Метрологія та прилади : науково-виробничий журнал. - 2012. - № 6. - С. 34-38. - Бібліогр. в кінці ст. 10 назв. - 3 рис. - В ОБЛ. БІБЛІОТЕЦІ
Измерительные приборы Калібрування Калибровка Кл.слова (ненормовані): вимірювальні прилади -- измерительные приборы -- калібрування -- калибровка -- електронні мікроскопи -- электронные микроскопы -- микротехнологии -- мікротехнології -- растрові електронні мікроскопи -- растровые электронные микроскопы Анотація: Проаналізовано методи й засоби калібрування растрових електронних мікроскопів з метою встановлення оптимальних значень їхніх основних характеристик з погляду впливу останніх на невизначеність результатів вимірювань. Дод.точки доступу: Кошева, Л. (доктор технічних наук: професор; Національний авіаційний університет); Шантир, А. (Національний технічний університет України "КПІ") |