Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : 621.38-161/А 22 Автор(и) : Сазонов А. А. Назва : Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : учеб. пособ. для вузов Вихідні дані : М.: Высш. шк., 1991 Кільк.характеристики :334 с : ДРНТІ : 47 УДК : 621.38-161 Предметні рубрики: Электроника Електроніка Примірники : всього : (5) Вільні : (5) Утримувачі документа: Библиотека Национальной металлургической академии Украины (НМетАУ): : 49600, г. Днепропетровск, пр. Гагарина, 4 Дод.точки доступу: Сазонов, А. А.; Корнилов, Р. В. \ред.\