У621.37/39    М79     Моряков, О. С.     Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : учебник / О. С. Моряков. - 4-е изд., испр. и доп. - М. : Высш. школа, 1989. - 239 с. - 00.00 УДК 621.382(075.8) Примірників всього: 15 АУЛ (15) Свободны: АУЛ (15)

У621.37/38    М80     Моряков, О. С.     Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : учебное пособие / О. С. Моряков. - М. : Высш. школа, 1971. - 240 с. - 00.54 р. УДК 621.382.002.5(075.8) Примірників всього: 3 АУЛ (3) Свободны: АУЛ (3)