Наукова бібліотека Українського державного університету науки і технологій

Головна

Бази даних

Статті, доповіді, тези- результати пошуку

Вид пошуку

Каталог книг

Каталог книг НМетАУ (до 2022 року)

Періодичні видання (друковані)

Статті, доповіді, тези

Рідкісні та цінні видання

Охоронні документи

Мережеві ресурси

Зона пошуку

Формат представлення знайдених документів:
повний	інформаційний	короткий

Пошуковий запит: <.>K=плазмохимическое поедание<.>

Загальна кількість знайдених документів : 1

Hladkovskiy, V. V.
Spectroscopic studies of RF discharge plasma at plasma-chemical etching of gallium nitride epitaxial structures / V. V. Hladkovskiy // Український фізичний журнал : науковий журнал. - 2017. - Т. 62, № 3. - P. 206-211 : рис. 4. - Бібліогр.: с. 210-211 (18 назв). - В ОБЛ. БІБЛІОТЕКІ

УДК

533.9

Рубрики: Фізика
   Физика
   Фізика плазми
   Физика плазмы
Кл.слова (ненормовані):
bias voltage -- plasma-chemical etching -- sputtering -- plasma-chemical reactor -- radio-frequency discharge -- optical spectroscopy -- напруга зміщення -- напряжение смещения -- плазмохімічне травлення -- плазмохимическое поедание -- розпилення -- распыление -- плазмохімічний реактор -- плазмохимический реактор -- раідочастотний розряд -- радиочастотные разряды -- оптична спектроскопія -- оптическая спектроскопия
Анотація: Приведено результати експериментальних досліджень впливу напруги зміщення на еволюцію спектрів випромінювання плазми при травленні нітриду галію в плазмохімчному реакторі (ПХР) з керованими магнітними полями. При значеннях напруги зміщення більших за -250 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії, що належать збудженим атомам матеріалів, з яких виготовлений робочий електрод. Під впливом від'ємного потенціалу проходить розпилення активного електрода і переосадження іонів металу на поверхню зразка, який обробляється, що приводить до зменшення швидкості травлення.

Дод.точки доступу:
Fedorovich, O. A.

Знайти схожі

© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)