Форма документа : Однотомне видання Шифр видання : У 621.37/.39/В31 Автор(и) : Верховский Е.И. Назва : Лазерная технология в производстве интегральных микросхем : учеб. пособие для ПТУ Вихідні дані : М.: Высш. школа, 1990 Кільк.характеристики :56 с : УДК : 621.375.8(075) Предметні рубрики: Электроника Електроніка Примірники : всього : АУЛ(10) Вільні : АУЛ(10)